潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。也就是不論外在之空氣條件如何變化,實(shí)驗(yàn)室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。
根據(jù)潔凈室潔凈度的不同又將其劃分為幾個(gè)級(jí)別:
微流控芯片加工實(shí)驗(yàn)室通常要求在潔凈環(huán)境中,實(shí)驗(yàn)室中高溫爐區(qū)、等離子區(qū)、測試區(qū)等要求達(dá)到千級(jí)等級(jí);光刻、勻膠、顯影工藝要求在百級(jí)超凈間進(jìn)行。
實(shí)驗(yàn)室組建主要包括潔凈室和外設(shè)系統(tǒng)的建設(shè)。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項(xiàng)系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室:
1. 天花板系統(tǒng):包括吊桿、綱梁、天花板格子梁;
2. 空調(diào)系統(tǒng):包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等;
3. 隔墻板:包括窗戶、門;
4. 地板:包括高架地板或防靜電舒美地板;
5. 照明器具:包括日光燈、黃色燈管等;
6. 潔凈實(shí)驗(yàn)室所需的實(shí)驗(yàn)臺(tái)、試劑柜、更衣柜、鞋柜等。