氦質(zhì)譜檢漏儀定義是用氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。

氦氣作為惰性氣體，不會腐蝕設(shè)備，且在容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境中干擾較少，信號較純，因而

常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有檢漏儀（即調(diào)整到僅對氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體

分析儀）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量

大小。

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀

器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。

以西格瑪旗下的 SAFC Hitech 子公司為例

Epichem (Epichem Limited,特殊氣體分部) 要求 ESS 設(shè)計并建造了一套檢測系統(tǒng), 用于泵壓、

烘烤、真空檢漏、正壓泄漏檢測以及有機(jī)金屬起泡劑的制備氣認(rèn)證。

起泡器 (過去常用于向半導(dǎo)體工業(yè)提供有機(jī)金屬) 是一些體積較小的金屬罐，配置有進(jìn)出閥。

由于具有高真空超潔凈的特點，因此起泡器在填充前要求相當(dāng)?shù)臐崈�。同時，由于起泡器內(nèi)

填充的是氧氣，避免泄漏發(fā)生爆炸也至關(guān)重要。

針對此應(yīng)用，ESS 開發(fā)出了一種特殊的雙進(jìn)樣端口的質(zhì)譜系統(tǒng)，它具有一個經(jīng)校準(zhǔn)的正壓泄

漏測試模塊，還具有一個自動化的高真空測試模塊。

首先，將起泡器放置于平臺上。使用氦氣填充至一定壓力，所有的接頭都使用正壓泄漏檢測

裝置“嗅辨”一下。任何檢測到的泄漏記錄與起泡器序列號一一對應(yīng)，發(fā)生任何超過用戶設(shè)

置的zui大允許結(jié)果泄漏的起泡器都會被拒絕放行。

然后將起泡器安裝 10 個一排的裝置上，該裝置配有無油前級泵和渦輪分子泵。在軟件完全

控制下，外部管線抽真空并保持狀態(tài)，然后操作者使用外噴霧檢查所有接頭時， 質(zhì)譜系統(tǒng)

可以監(jiān)測任何氦泄漏。

若通過泄漏測試，將起泡器抽真空、烘烤。測試結(jié)束時，質(zhì)譜系統(tǒng)會自動分析起泡器和接頭

管線中的氣體。為保證測試結(jié)果，所有起泡器中的水，氧和溶劑的濃度必須低于 1 ppm。

測試結(jié)束時，會提醒操作人員，并顯示測試結(jié)果是通過還是拒絕，所有測試數(shù)據(jù)將會被記錄，

便于溯源。

 

監(jiān)測組分	檢測限
丙酮(Acetone)	0.5ppm
乙醇(Ethanol)	0.5ppm
氦氣(Helium)	0.5ppm
氮氣(Nitrogen)	0.5ppm
氧氣(Oxygen)	0.5ppm
三氯乙烯(Trichloroethylene)	0.5ppm
水(Water)	0.5ppm

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