對話江化微：深耕半導(dǎo)體供應(yīng)鏈創(chuàng)新，助推國產(chǎn)濕電子化學(xué)品突圍
 
當(dāng)下，遍及全球的數(shù)字化技術(shù)正在催生新一輪的科技革命和產(chǎn)業(yè)變革，尤其自去年，在經(jīng)濟(jì)發(fā)展停滯和疫情的雙重夾擊下，發(fā)展半導(dǎo)體芯片的創(chuàng)新和制造的實(shí)力，加強(qiáng)自主創(chuàng)新意識及知識產(chǎn)權(quán)戰(zhàn)略布局，已經(jīng)自上而下成為中國全社會的新共識。新能源、信息通訊、消費(fèi)電子等下游電子信息產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展的同時(shí)，濕電子化學(xué)品行業(yè)需求的更新?lián)Q代速度也不斷加快。
 
濕電子化學(xué)品是電子工業(yè)中的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料，也是重要支撐材料之一，其質(zhì)量的好壞，直接影響到電子產(chǎn)品的成品率、電性能及可靠性，對微電子制造技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化有重大影響。因此，電子工業(yè)的發(fā)展要求濕電子化學(xué)品與之同步發(fā)展，不斷地更新?lián)Q代，以適應(yīng)其在技術(shù)方面不斷推陳出新的需要。從某種意義上說，濕電子化學(xué)品支撐著新能源、現(xiàn)代通信、計(jì)算機(jī)、信息網(wǎng)絡(luò)技術(shù)、微機(jī)機(jī)械智能系統(tǒng)、工業(yè)自動(dòng)化和家電等現(xiàn)代技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
 
所以，電子化學(xué)材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)模和技術(shù)水平，已經(jīng)成為衡量一個(gè)國家經(jīng)濟(jì)發(fā)展、科技進(jìn)步和國防實(shí)力的重要標(biāo)志，在國民經(jīng)濟(jì)中具有重要戰(zhàn)略地位，是科技創(chuàng)新和國際競爭最為激烈的材料領(lǐng)域之一。
 
江陰江化微電子材料股份有限公司（下文稱：江化微）是目前國內(nèi)規(guī)模最大、品種最齊全、整體配套服務(wù)能力最強(qiáng)、技術(shù)領(lǐng)先的濕電子化學(xué)品專業(yè)服務(wù)提供商之一，在業(yè)內(nèi)享有較高的聲譽(yù)。近日，江化微副總經(jīng)理姚瑋先生就濕電子化學(xué)品的研發(fā)相關(guān)話題接受了記者采訪。
   
濕電子化學(xué)品的角色
 
姚瑋首先歸納到，我國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展可分為三個(gè)階段：
第一階段自 80 年代改革開放起，帶有國家主導(dǎo)的單位、研究所等等，初期引入了一些集成電路的產(chǎn)線，由于比較缺少經(jīng)驗(yàn)，真正投入運(yùn)營起來的生產(chǎn)線還是寥寥無幾。
 
第二階段為在 20 世紀(jì) 90 年代八五期間實(shí)施的發(fā)展微電子產(chǎn)業(yè)的重點(diǎn)工程，主體企業(yè)是由無錫 742 廠和永川半導(dǎo)體研究所無錫分所合并成立的中國華晶電子集團(tuán)公司，該項(xiàng)目的建成投產(chǎn)使國內(nèi)集成電路生產(chǎn)技術(shù)水平由 2-5 微米提高到 0.8-2 微米。909 工程是電子工業(yè)有史以來投資規(guī)模最大的國家項(xiàng)目，表現(xiàn)了當(dāng)時(shí)黨和國家的領(lǐng)導(dǎo)人迫切希望提高我國集成電路水平。
 
第三階段自 2014 年 10 月 14 日，工信部辦公廳宣布國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金設(shè)立至今，國家重點(diǎn)投資集成電路芯片制造業(yè)，兼顧芯片設(shè)計(jì)、封裝測試、設(shè)備和材料等產(chǎn)業(yè)，實(shí)施市場化運(yùn)作、專業(yè)化管理，在這一階段我國在集成電路領(lǐng)域產(chǎn)生了較快發(fā)展。
 
超凈高純化學(xué)試劑成為制約半導(dǎo)體等微電子微細(xì)加工技術(shù)發(fā)展的瓶頸。以半導(dǎo)體生產(chǎn)為例，大規(guī)模集成電路在其生產(chǎn)過程中有幾十道工序，工藝制造過程中的空氣、水、各種氣體、化學(xué)試劑、工作環(huán)境、電磁環(huán)境噪聲以及微振動(dòng)、操作人員、使用的工具、器具等各種因素都可能帶來污染物，集成電路集成度越高，對高純試劑顆粒控制的要求越嚴(yán)格，污染物數(shù)量超過一定限度時(shí)，會導(dǎo)致集成電路產(chǎn)品漏電、電特性異常等情況，輕者影響電路使用壽命，嚴(yán)重時(shí)可導(dǎo)致電路報(bào)廢，而這些污染物都需要相關(guān)的超凈高純試劑去除。隨著集成電路線寬尺寸減小，對專用化學(xué)品中的金屬雜質(zhì)、塵埃含量、塵埃粒徑等指標(biāo)提出了更高的要求。
 
超凈高純試劑正是隨著集成電路制造業(yè)對產(chǎn)品純度不斷提出嚴(yán)格要求，在通用試劑基礎(chǔ)上發(fā)展起來的純度最高的試劑。為衡量不同濕電子化學(xué)品的“超凈”和“高純”的程度， 1975 年國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織（SEMI）制定了國際統(tǒng)一的超凈高純試劑標(biāo)準(zhǔn)，以對應(yīng)不同線寬的集成電路應(yīng)用。目前國際上制備 G1 到 G5 級超凈高純試劑的技術(shù)都已經(jīng)趨于成熟，國內(nèi)大部分企業(yè)已經(jīng)達(dá)到了國際 G3 標(biāo)準(zhǔn)，并已開展 G4 與 G5 標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品的研發(fā)工作。一些技術(shù)領(lǐng)先的濕電子化學(xué)品企業(yè)，如江化微公司，目前技術(shù)水平已達(dá)到 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)等級的高端行列，硝酸、硫酸、氨水、金屬刻蝕液等均已完成行業(yè) G4 級或 G5 級品類中試，量產(chǎn)在即。
 
江化微的技術(shù)演進(jìn)
 
作為國家火炬計(jì)劃高新技術(shù)企業(yè)，江化微歷來注重自主研發(fā)創(chuàng)新，配備有 50 余人的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，是江蘇省企業(yè)技術(shù)中心和江蘇省超高純濕電子化學(xué)品工程技術(shù)中心。公司全心致力于微電子、光電子專用濕電子化學(xué)品制造業(yè)的發(fā)展，不斷開發(fā)出先進(jìn)的工藝技術(shù)和生產(chǎn)高性能的微電子化學(xué)品，是目前國內(nèi)產(chǎn)品達(dá)到國際標(biāo)準(zhǔn)，且具有一定生產(chǎn)規(guī)模的多家企業(yè)之一。隨著下游對產(chǎn)品純度不斷提出嚴(yán)格要求，江化微不斷創(chuàng)新技藝突破技術(shù)壁壘，在半導(dǎo)體制程當(dāng)中所涉足到的化學(xué)品除了光刻膠、研磨液以外，基本上做到了全覆蓋，能夠?yàn)橄掠慰蛻糸_發(fā)功能性新產(chǎn)品，有效解決客戶對產(chǎn)品的功能性需求，獲得客戶的廣泛認(rèn)可，為我國半導(dǎo)體在內(nèi)的集成電路制造業(yè)自主研發(fā)控制核心技術(shù)提供了不可或缺的前提條件和支持。
 
談及技術(shù)突破過程中，姚總表示，滿足下游產(chǎn)業(yè)不斷提出的更高要求，對于如江化微一樣的供應(yīng)商而言需要的是對更高標(biāo)準(zhǔn)的檢測技術(shù)的掌握，這當(dāng)中有來自于安捷倫這樣的公司提供的幫助。“比如為應(yīng)對 G4 或者 G5 標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)入到中高端制程與之匹配的 ICP-MS/MS 等高端儀器都是必不可少的。在一些中高端芯片制程當(dāng)中我們提供的數(shù)據(jù)不能不準(zhǔn)確，必須是非常嚴(yán)謹(jǐn)?shù)模�因�(yàn)槟承┰�素超�?biāo)就可能影響到芯片的性能，特別是一些電性能這方面受到一些元素的影響，哪怕是很微不足道的 PPT 級的對它也會有影響，這就對我們的合作伙伴像安捷倫科技這樣的分析儀器制造企業(yè)提出了挑戰(zhàn)，經(jīng)過時(shí)間的考驗(yàn)安捷倫無疑提交了令人滿意的答卷，無論是檢測相對低要求的服務(wù)了超過 20 年經(jīng)久耐用的 7500 ICP-MS 系列還是應(yīng)對高要求的不斷創(chuàng)新研發(fā)解決問題的 8800 ICP-MS/MS 和 8900 ICP-MS/MS。與江化微有著一樣不斷滿足客戶需求不斷突破自我的信念的企業(yè)才是研發(fā)生產(chǎn)路上最好的合作伙伴。”
   
在國家政策支持下，包括江陰江化微電子材料股份有限公司在內(nèi)的中國科技企業(yè)不斷總結(jié)經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)潛心研發(fā)攻克技術(shù)難題，以技術(shù)為先導(dǎo)，自主研發(fā)、與客戶共同研發(fā)及“產(chǎn)學(xué)研用”相結(jié)合，不斷實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的升級換代；以服務(wù)為依托，秉持“為客戶提供價(jià)值”及“同客戶共同成長”的理念，逐步增強(qiáng)綜合配套服務(wù)能力，致力于成為國際電子化學(xué)品研發(fā)的引領(lǐng)者和高端配套服務(wù)提供商，助力下游產(chǎn)業(yè)中國客戶技術(shù)革新科技強(qiáng)國，相信“技”高一籌指日可待！
 
期待機(jī)遇無限的未來
 
作為處在市場前景光明的高端化學(xué)品行業(yè)，江化微也觀察到隨著國家政策戰(zhàn)略以及資金支持、國內(nèi)高科技產(chǎn)業(yè)不斷升級、技術(shù)逐漸成熟等背景下，傳統(tǒng)的化工企業(yè)也在不斷尋求產(chǎn)品升級轉(zhuǎn)型的機(jī)會。有著豐富行業(yè)經(jīng)驗(yàn)的姚總分享了幾點(diǎn)寶貴經(jīng)驗(yàn)，“首先企業(yè)自身要有一支專業(yè)性的管理團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)，要熟悉行業(yè)未來發(fā)展的方向、確定自身的產(chǎn)品等級、去服務(wù)這個(gè)行業(yè)當(dāng)中的哪些客戶群。與之對應(yīng)的，產(chǎn)品技術(shù)來源、專利技術(shù)等等需要工業(yè)設(shè)備要去配套支持。其次，及時(shí)轉(zhuǎn)變與之適應(yīng)的管理體系。積極與比較先進(jìn)的客戶群溝通學(xué)習(xí)，包括芯片廠各項(xiàng)的管理、對產(chǎn)品品質(zhì)的管控，要從用戶角度去轉(zhuǎn)變我們的觀念與思路，來適應(yīng)用戶越來越高的要求，才能夠盡快得到客戶群的認(rèn)可。最后是做產(chǎn)品，產(chǎn)品的裝備升級、對應(yīng)的包括檢測的儀器升級、檢測方法的提升與建立完善等，也是非常關(guān)鍵的轉(zhuǎn)變。”
 
“大家都知道中國國內(nèi)的市場非常龐大，中國可以帶動(dòng)世界的經(jīng)濟(jì)占比都是比較高的，特別是這兩年，包括人才的回流，市場本身又在國內(nèi)，可以說國內(nèi)半導(dǎo)體的發(fā)展和繁榮已到了天時(shí)、地利、人和的階段，這是我對半導(dǎo)體行業(yè)的展望。應(yīng)該講，未來是有可超過十年以上的繁榮期和發(fā)展。與此對應(yīng)的，我們處在整個(gè)材料行業(yè)當(dāng)中提供材料包括設(shè)備的子行業(yè)，與我們配套的檢測器材行業(yè)比如安捷倫，所提供的包括檢測設(shè)備、解決方案這一塊，相輔相成一同來發(fā)展，應(yīng)該是比較好的前景。”談及行業(yè)未來發(fā)展，姚瑋這樣評價(jià)。
 
 
關(guān)于江陰江化微電子材料股份有限公司
江陰江化微電子材料股份有限公司，是無錫科技領(lǐng)軍企業(yè)、國家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)生產(chǎn)適用于半導(dǎo)體（TR、IC）、晶體硅太陽能（solar PV）、FPD平板顯示（TFT-LCD、CF、TP、OLED、PDP等）以及LED、硅片、鋰電池、光磁等工藝制造過程中的專用濕電子化學(xué)品——超凈高純試劑、光刻膠配套試劑的專業(yè)制造商，是目前國內(nèi)生產(chǎn)規(guī)模大、品種齊全、配套完善的濕電子化學(xué)品專業(yè)服務(wù)提供商。


關(guān)于安捷倫科技
安捷倫科技公司（紐約證交所：A）是生命科學(xué)、診斷和應(yīng)用化學(xué)市場領(lǐng)域的全球領(lǐng)導(dǎo)者，致力于提供敏銳洞察與創(chuàng)新，幫助提高生活質(zhì)量。我們的儀器、軟件、服務(wù)、解決方案和專家能夠?yàn)榭蛻糇罹咛魬?zhàn)性的難題提供更可靠的答案。在2020財(cái)年，安捷倫的營業(yè)收入為53.4億美元，全球員工數(shù)為16400人。如需了解安捷倫公司的詳細(xì)信息，請?jiān)L問 www.agilent.com。