Evident向基于顯微鏡的成像系統(tǒng)制造商供應超多規(guī)格的物鏡以及其他光學部件,為設備和儀器設計者提供支持。這些組件能幫助工程師們輕松有效地設計高質量的光學檢測設備。
此類設計方案的一個重要組成部分是主動式自動對焦技術。當該技術與顯微鏡的電動Z軸——機械裝置、照明系統(tǒng)、物鏡和/或數(shù)碼相機結合使用時,便可實現(xiàn)自動對焦。這些裝置使用主動式方法對焦樣本,讓光學檢測系統(tǒng)設計受益良多。
這篇文章將深入探討主動式自動對焦方法——了解它是什么,比較它與其他方法的優(yōu)劣,并探究它對于光學檢測設備設計(如半導體檢測)的主要優(yōu)勢。
顯微鏡的自動對焦方法對比:主動式與被動式
一般來說,有兩種類型的自動對焦系統(tǒng):
圖2. 半導體樣本聚焦不穩(wěn)定的原因:(左)焦點位置的變化和(右)階梯邊緣的散射
為了解決這些問題,我們開發(fā)了一種使用多個焦點檢測點的主動式自動對焦系統(tǒng)(圖3,右)。我們還增添了一個功能,通過移動自動對焦光學系統(tǒng)的中繼鏡的光軸,將焦點位置偏移到所需的觀察位置。這就消除了焦點不穩(wěn)定的問題(圖4和圖5)。
圖3. 樣本表面對焦檢測點對比:(左)單點自動對焦系統(tǒng),(右)多點自動對焦系統(tǒng)
圖4. 焦點位置偏移功能
(a) 在單點系統(tǒng)中,將樣本移到一側會移動焦點位置
(b) 在多點系統(tǒng)中,將同一樣本移到一側不會改變焦點位置
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