近年來,隨著電子設備的小型化、精密化和功能多樣化的發(fā)展,微米級增材制造技術在電子行業(yè)中扮演著越來越重要的角色。微納直寫打印技術(Micro/Nano Direct Writing Printing Technology)是一種基于增材制造的高精度加工技術,能夠直接在基底上沉積材料,形成微米或納米級的精細結構。與傳統(tǒng)的光刻、蝕刻等減材制造工藝相比,微納直寫打印技術具有高精度、靈活性強、材料利用率高等特點,是近年來微納制造領域的研究熱點之一。
由西湖大學孵化的西湖未來智造科技獨創(chuàng)行業(yè)領先的微米、亞微米級超高精度電子增材技術,能夠為客戶提供量身定制的電子增材制造解決方案。團隊自主開發(fā)的1-10微米精度電子增材設備及與之配套的先進功能材料體系,可實現(xiàn)數(shù)十種高性能金屬導電材料、聚合物及陶瓷基介質材料、光學、磁性材料的精密三維增材制造。
我們先通過14個由西湖未來智造開發(fā)的微米、亞微米級超高精度電子增材制造的應用案例,來感受一下這項技術的魅力。
① RDL布線
PI介質表面精密RDL線路(線路中心距2.5um,線路后處理條件:300℃ 1h 空氣氛圍燒結)。
② 精密導電線路加工,最小特征尺寸可達1 μm
可兼容硅、玻璃、陶瓷、金屬、PI、PET等基材表面加工。
③無源器件加工,有源無源集成
可直接打印加工電容、電感、電阻器件等,通過精細互聯(lián)線路打印,實現(xiàn)有源無源集成。
④微納金屬3D結構
微納直寫打印Wire Bond線,線寬最小可達5 μm,可實現(xiàn)無焊盤鍵合互聯(lián)。
⑥打印懸空結構
可打印MEMS懸臂導電結構,懸臂跨度>200 μm。
⑦打印多層電路
可加工多層電路板,加工層數(shù)>4層。
⑧打印Pillar結構
可實現(xiàn)高寬比≥5的Pillar結構打印,可應用于POP、AIP封裝中的層間互聯(lián)、金屬屏蔽、金屬探針等。
⑨高溫打印bumping結構
支持無助焊劑直接焊料熔融打印植球,支持In-Ag、Sn-Bi、Sn-Zn、Sn-Ag-Cu等多種合金熔融打印。
⑩晶圓表面制作金屬立墻結構(電磁屏蔽)
可用于SiP、射頻前端模組的分區(qū)屏蔽,替代傳統(tǒng)引線鍵合或激光刻槽填充導電漿料工藝,節(jié)省成本,提升屏蔽性能,縮小封裝尺寸。支持載板、晶圓等產品原位打印金屬屏蔽結構。具備工藝參數(shù)的自適應閉環(huán)調節(jié)能力,在線智能調參,無需人工介入。低至200℃以下的材料后處理烘烤溫度。
⑪玻璃基通孔金屬填充
支持孔徑≥30 μm,深寬比≤10的微孔致密金屬化填充,可以兼容金屬、聚合物等材料填充打印。
⑫光子晶體
可實現(xiàn)光子晶體高精度三維結構打印加工。
⑬氣敏傳感器
可實現(xiàn)超小型高靈敏度氣體傳感器的打印加工和系統(tǒng)集成。
⑭芯片散熱
可用于芯片模組的FOWLP、FOPLP封裝散熱,對芯片晶背進行不同厚度散熱層打印,提升模組整體散熱能力;或可對分立器件頂部進行特定散熱微結構打印,制作微型散熱器,提升器件載流能力。
相比常規(guī)散熱方式,散熱效率提升>30%。
看了以上的眾多應用案例,那么它們究竟是用什么樣的一臺增材制造設備打印出來的呢?
西湖未來智造設備
西湖未來智造通用型電子增材平臺,采用微納墨水直寫(DIW)打印技術,結合獨創(chuàng)自研納米墨水材料,可實現(xiàn)最小具有1-10μm 特征尺寸的高性能金屬導電材料、聚合物及復合介質材料的增材制造,可用于精密互聯(lián)線路、微波天線、無源器件、柔性電路、立體電路等產品打印。
●最小打印特征尺寸可達1 μm
●龐大的材料庫,可用于不同打印場景
●可打印2D、2.5D及復雜3D結構
●支持快拆更換的打印頭
●支持多材料打印
●可選配機械鉆孔、激光刻蝕、原位激光燒結等工藝模塊
設備核心部件
為了實現(xiàn)高精度的打印和穩(wěn)定的工作,西湖未來智造在設備中使用了諸多前沿的技術,以下是設備中用到的一些核心零部件。
精密運動平臺剛性框架設計,采用高精度直線電機閉環(huán)驅動系統(tǒng),為打印提供亞微米級定位精度。
多針打印模組支持成倍提升打印效率。
加工模組支持直寫打印模組、精密銑削模組、壓電噴射模組、刮刀涂布模組等多種加工手段組合,可根據(jù)需求選配不同加工模組安裝于設備龍門。
UV在線固化單元支持對UV膠材進行原位固化;紅外激光燒結單元支持對導電漿料進行原位燒結形成導電性。
材料介紹
西湖未來智造基于行業(yè)領先的微米、亞微米級的金屬顆粒和無機填料的合成、生產工藝,以及填料與樹脂的分散工藝等核心技術,自主開發(fā)可滿足1 - 10 微米精度電子增材制造的先進功能材料體系,含括高性能金屬漿料體系、高性能樹脂漿料體系、有機復合材料體系,根據(jù)客戶需求的定制化開發(fā),可滿足顯示、半導體封裝、鋰電等行業(yè)內微米級線路加工、深腔填孔、特殊三維結構構造等應用場景。
代表性漿料如下
產品 類型 |
代表性 產品 |
關鍵技術能力 | 應用場景 |
銀漿 | E3D-A-01A | 250~300 oC固化后電阻率可滿足< 8 μΩ·cm,可滿足1~10μm針徑的打印, | 線寬≤10 μm直寫打��;柔性電路、集成電路、復雜三維結構等 |
E3D-A-02B | 150~200 oC固化后電阻率< 80 μΩ·cm;50~70μm針徑長期打印流量波動<10% | 線寬≤100 μm直寫打印;芯片封裝,集成電路,印制電路板、芯片貼裝等 | |
E3D-A-03A | 150~200 oC固化后電阻率< 16 μΩ·cm;50~150μm直寫疊層打印,高寬比可到3以上;銀立柱高寬比可到5以上 | 線寬≤200 μm的復雜三維結構構建,電子屏蔽,散熱器件,芯片貼裝等 | |
銅漿 | E3D-B-03B | 200 oC/氮氣氛圍固化后電阻率< 34 μΩ·cm;30~50μm針徑長期打印流量波動<10% | 線寬≤100 μm直寫打印;芯片封裝,集成電路,印制電路板、芯片貼裝等 |
E3D-B-04B | 200 oC/氮氣氛圍固化后電阻率< 85 μΩ·cm;可滿足孔徑≥50μm,徑深比>3的填孔打印 | 深腔填孔,如TGV,TSV,PCB填孔等 | |
環(huán)氧樹脂 | E3D-C-05 | 單組分、室溫穩(wěn)定、粘度適中,可滿足1~10μm針徑的打印 | 應用于光學器件及電子器件的封裝,對PC、玻璃、塑料等基材都具有很好的粘接力 |
E3D-C-08 | 單組份、高觸變性、低收縮率等特點,可滿足50~100μm針徑打印 | 適用于光學器件、電子元器件封裝、攝像頭模組等低收縮低應力特殊要求的場景 | |
硅樹脂 | E3D-D-04 | 單組分、不流動的有機硅膠,打印高寬比可達0.3以上,可滿足針徑50~100μm的打印,可按需配制成黑色、白色等外觀 | 應用于顯示模組、電子元器件、模塊和線路板等領域 |
UV膠水 | E3D-E-04 | 無溶劑型的高性能丙烯酸酯類UV固化膠,產品具有中等黏度、固化速度快、固化后透明度高、耐候性好等特點,可滿足1~10μm針徑的打印 | 適用于光學器件及電子器件的封裝,對PC、玻璃、塑料等基材都具有很好的粘接力 |
E3D-E-17 | 單組份、無溶劑型,高粘結強度、固化速度快,打印高寬比可達0.4以上,滿足>100μm線徑的打印 | 適用于光學器件、電子元器件封裝、攝像頭模組等低收縮低應力特殊要求的場景 |
關于西湖未來智造
西湖未來智造獨創(chuàng)行業(yè)領先的微米、亞微米級超高精度電子增材技術,為客戶提供量身定制的電子增材制造解決方案。團隊自主開發(fā)1-10微米精度電子增材設備及與之配套的先進功能材料體系,可實現(xiàn)數(shù)十種高性能金屬導電材料、聚合物及陶瓷基介質材料、光學、磁性材料的精密三維增材制造。團隊已申請國內外專利270余件,已授權專利70余件,參編國家標準7項。團隊增材技術方案面向工業(yè)級量產需求,應用領域涵蓋當下及下一代主流集成電路系統(tǒng)應用,目前產品與解決方案已落地顯示、半導體封裝、鋰電等多個領域并已積累十余家行業(yè)標桿客戶。公司已被認定為國家高新技術企業(yè)、省專精特新中小企業(yè)、省高新技術企業(yè)研發(fā)中心,杭州市準獨角獸企業(yè),主持浙江省重大科技項目,入選國家級首臺套項目,并獲得浙江省領軍創(chuàng)業(yè)團隊支持。
隨著電子行業(yè)對高精度、小型化和低成本制造的需求不斷增加,納米增材制造技術將迎來更多的應用機會。未來的發(fā)展方向包括:
1. 規(guī)模化生產:與國內龍頭企業(yè)合作,提升打印工藝的速度和穩(wěn)定性,適應大規(guī)模生產需求。通過優(yōu)化設備設計、開發(fā)自動化生產流程和質量監(jiān)控系統(tǒng),實現(xiàn)高效、穩(wěn)定的大規(guī)模生產。計劃在未來 3 年內,將設備的生產效率提高 5 倍以上,良率提升至 99% 以上。
2. 材料研發(fā):開發(fā)更多種類的導電材料和功能性材料,擴展技術的應用范圍。深入研究材料的結構與性能關系,通過材料創(chuàng)新推動納米增材制造技術在更多領域的應用。預計未來 5 年內,開發(fā)出 數(shù)十種新型導電材料和功能性材料,滿足不同行業(yè)的需求。
3. 跨行業(yè)應用:除了電子制造領域,還可以應用于生物醫(yī)學、航空航天等領域。結合不同行業(yè)的需求,開發(fā)針對性的工藝和材料,拓展技術的應用邊界
4. 自動化與智能化:結合人工智能和自動化技術,實現(xiàn)打印工藝的智能優(yōu)化和實時監(jiān)控。利用機器學習算法優(yōu)化打印參數(shù),通過傳感器實時監(jiān)測打印過程,提高生產效率和產品質量。
5. 合作與生態(tài)建設:與電子制造企業(yè)和科研機構合作,推動技術的商業(yè)化落地和生態(tài)系統(tǒng)建設。建立產學研用協(xié)同創(chuàng)新機制,促進技術的快速發(fā)展和廣泛應用。加強與上下游企業(yè)的合作,共同打造微納電子增材制造技術的完整產業(yè)鏈,推動行業(yè)的整體發(fā)展。
結語
西湖未來智造的微納電子增材制造技術為電子制造行業(yè)帶來了全新的解決方案,特別是在高精度、低成本和環(huán)保制造方面展現(xiàn)出巨大的潛力。西湖未來智造作為這一領域的佼佼者,憑借其獨創(chuàng)的微納墨水直寫(DIW)打印技術,正在為電子制造行業(yè)帶來前所未有的變革。未來,納米增材制造技術將繼續(xù)推動電子制造的創(chuàng)新,為高精度、高性能的電子產品提供更多可能性。
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