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    氮化鎵(GaN)是一種廣泛應(yīng)用于發(fā)光二極管(led)等光電器件的材料。LED結(jié)構(gòu)主要是通過(guò)外延生長(zhǎng)在藍(lán)寶石襯底上,但由于成本原因,硅成為藍(lán)寶石的代替者。然而,硅和氮化物之間巨大的不配合和熱膨

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